精密金型部品・各種表面処理(各種表面改質)・特殊切削工具・ケミカル用品販売総合商社
TOOL-TEC
各種表面処理
 
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各種表面処理

各種表面処理(各種表面改質)について。

近年益々多種多様化されてきている金型分野。
金型材料のみの改善もさることながら表面処理(表面改質)による改善も必要不可欠となってきています。
弊社の業務は、多数ある表面処理(表面改質)の中よりお客様のニーズにあった処理をご提案いたします。
多数のコーティングメーカー様との綿密な打ち合わせによりお客様の抱えている問題を的確に対処させていただきながら
金型部品メーカー様とコーティングメーカー様の橋渡し役も担いますので寸法トラブル等の防止にも一役買っています。

各種表面処理 INDEX
DLCコーティング 耐熱コーティング
PVD・CVDコーティング 各種窒化系処理
フッ素樹脂系めっき 低摩擦・摺動対策処理
非粘着処理 受託分析・SEM観察受託
アルミダイカスト金型向け(溶損・カジリ・焼付き) 冷間鍛造用金型向
プレス金型向 DLC-IRIS(超精密金型) 薄膜PVDコーティング


高硬度・極薄膜のDLC-Iris(アイリスコーティング)は

今までのDLCでは剥がれてしまっていたプレス金型(パンチ・ダイ)の長寿命化やコネクタ製造関連会社などで
多岐に渡り使用が展開されている処理です。膜厚が薄膜の為工程前寸法なども必要ありませんので現在お使いの
金型部品をそのまま御支給で処理可能です。内径に付きまわり良く入り込むバージョンもございますので、割り型
だけではなく一体型のダイへも効果発揮いたしますのでより広い範囲での金型部品の長寿命化が期待できます。

イメージ図



ダイヤモンド構造である、カーボンのSP3構造を、90%保有するDLC
水素フリーDLCです。

DLC-Iris 通常DLC
硬度 Hv 6000〜7000Hv 2500〜3000Hv
耐熱温度 500℃ 400℃
膜厚 〜0.6μm以下 1.0μm
処理温度 150℃ 150〜250℃
面粗さ(Ra) 4nm 10nm

処理可能材質
超硬(オススメ)・ハイス鋼・ダイス鋼・SUS・アルミ・etc


※推奨面粗度0.4S以下が望ましいです。詳しく情報をご希望される場合はお問合せください。

厚膜タイプもございます。別途ご相談頂けましたら様々なご提案させて頂きますのでお気軽にご連絡ください。

[用途例]  
精密超硬プレスパーツ・モールドパーツ・非鉄系切削工具・各種機械部品

弊社実績評価
t=0.12のリン青銅(C-5240)打ち抜きにて、未処理品に比べて2倍程度のショット数を加工可能になりました。
また、再研磨量も0.05mm程度で摩耗部分が取れますのでパンチの長寿命化が可能です。

※リシャープ時にはドライではなく、なるべくウェットにてゆっくり行ってくだいますと、側面の切れ刃の部分の膜剥がれを
抑えてリシャープ後もショット数が伸びやすくなります。


GF含有量が多い樹脂への金型部品の耐摩耗性向上やガス付着防止などにも効果ございます。
通常のPVDコーティングやDLCでは入り込みにくかった小径の内径部などにも膜が入りやすくはなってますので、
ゲート摩耗などにも効果ございます。


DLC-IRISα(アイリス アルファ)

DLC-IRISより更なる寿命向上を実現!

現状のDLC-IRISより倍以上の長寿命を可能とする複合技術です。
一般的にはDLC-IRISの下地処理に窒化などをしてしまうと成膜不良の原因となるために
複合処理ができないのが現状でしたが、弊社オリジナルの複合処理によってDLC-IRIS
よりも更なる長寿命化を実現いたしました。


DLC-IRISαの特徴
ユーザー様のご報告にてDLC-IRISをリシャープしてしまうとショット数が落ちやすい特徴がありましたが、
 リシャープ後でも超硬母材自体に滑り性が浸透拡散しているために、DLC-IRISのみの場合に比べてショット数の維持が実現

一体型DIEなどでも内径全体に浸透拡散するために、リシャープ後も同様にお使いいただけます。
・海外工場などで加工する場合もメンテナンス頻度が少なくなるために量産性の効率も向上いたします。

現在テスト中ですが、SUS材、リン青銅、コルソン材でDLC-IRISより倍以上との評価が出ております。

テスト実施例
SUS t=0.3 :DLC-IRIS処理品の数倍の延命が起きております。
コルソン t=0.15:リシャープ後1000万ショットまで加工した時点で作業終了の為、引き続きテスト中
リン青銅 t=0.06 :DLC-IRISの3倍の寿命延長いたしました。(下記新品時の客先テスト結果)


現在打ち抜きのみでのテストしか行っておりませんので、テスト評価ご希望の場合はお気軽にご相談ください。
コルソン銅に関してはDLC-IRISαでもIRIS同様に剥離してしまう場合は、SAOS-Zαをご提案させて頂いております。
DLC-IRISα提携企業:ケービー・テック株式会社(代表取締役社長:方波見豊 TEL:022-302-5102)にても同対応にてご相談承ります。






樹脂成型金型部品のGFによる摩耗でお困りのお客様へ

LCP(液晶ポリマー)の離型・耐摩耗にも実績が出てきております。
現在LCP成型にて離型や耐摩耗、腐食などでお困りの場合は一度ご相談ください。
ゲート部の摩耗対策、鏡面維持、複雑形状維持、ガス付着など効果があります。



[加工製作〜DLC-Irisまでの一貫対応]
超硬パーツを短納期で製作してからDLC-IRISまで一貫して納品させていただくことも可能です。
弊社取扱メーカーでもあります株式会社エコー精密ホームページ参照)様にて
推奨面粗度0.4S以下にて処理必要部を仕上げてもらっております。
加工製作〜DLC-Irisを一貫しての納品をご希望のお客様などいらっしゃいましたらお気軽にご相談ください。

※画像提供 潟Gコー精密 ※上記画像は全て加工後DLC-Irisを処理しております。




 IRIS-CA1(1μm以下での薄膜鏡面維持PVD)      
 
 IRIS-CA1(仮)のご案内

DLC同等の面粗度を保有してるPVD膜です。(現在コルソン材の打ち抜き加工でテスト評価進めてます)
密着力がDLC-IRISより圧倒的に高いので、現在DLC-IRISをご使用中のお客様にて剥離の問題が起きてる
場合などは一度ご評価ください。

MOLD関連のお客様には、ガラスフィラーなどによる耐摩耗対策に効果的です。


http://www.onwardgiken.jp/html/image/nl.gif

CA1(仮)

DLC-Iris

硬度Hv

3500Hv

60007000Hv

耐熱温度

1000℃

550℃

膜 厚

1.0μm

1.0μm

処理温度

450℃

150℃

面粗さ(Ra)

6nm

4nm

(面粗さに関しては、弊社実測値にてRa0.011の鏡面テストピースにCA1を処理した場合、Ra0.017)

膜厚が1μmで平滑な面粗度でのAlCrNの成膜を可能としましたので精度の厳しい部品への付き回りも良好です。
(特別仕様の0.5μm仕様も開発進めてます)

膜厚が2μmタイプのIRIS-CA2、4μmタイプのIRIS-CA4もございます。(面粗度は膜厚が厚くなるほど粗くはなります)

実績
プレスパンチ・分割型ダイ・・・コルソン材(t=0.08)のショット数延命対策
ゲート駒・・・フィラーによる切れ刃及びゲート部の摩耗対策

※初回テスト評価対応させていただきます。弊社まで気軽にご相談ください。

     
 SmArc[スマーク]シリーズ(0.5μm以下での薄膜PVD)
 SArc[スマーク]のご案内

一般的なPVD3μmでの膜厚だと公差や膜の付きまわりでお困りの方必見!!














コーティング条件の最適化により、小径工具、パンチの形状を損なわずコーティング可能になりました。
アーク方式での、多彩な膜選択+スマーク条件で高精度パンチ、ダイ、小径リーマー、エンドミル等に好評です。
一般のPVDでは膜厚が3μmのため、公差範囲外でお困りの場合スマーク条件の膜種をオススメします。
(膜厚が1μm以下での処理をご希望の金型部品・工具・治工具)


「機能」


AlCrSiN多層膜
硬度:3000HV
膜厚:〜0.5μm
耐熱温度:1000℃

「用途」

リン青銅・SUS・コルソン銅の潰し加工、抜き加工、曲げ加工、絞り加工

小径のドリル・リーマ・エンドミル加工





SAOS-Z
α(スマークOS-Zアルファ)
コルソン銅などの打ち抜き、潰し加工などに対して、IRISαで期待以上の効果がなかった時の別提案複合膜種です。
耐熱性と密着力がIRISより高いので、IRISで剥離が早いパーツなどにお試しください。
スマークシリーズの膜種でしたらアルファ複合処理可能です。気軽にご相談ください。

SAOS-Zβ(スマークOS-Zベータ)
コルソン銅などの打ち抜き、潰し加工などに対して、SAOS-Zαより安価にて対応可能な複合膜種です。
SA-OSZ後に特殊窒化を施すことによりより緻密な膜と処理後のクリーニングにより面が滑らかになるため寿命アップが期待できます。
スマークシリーズの膜種でしたらベータ複合処理可能です。気軽にご相談ください。

※材質などにより処理不可、脱膜不可などもございますのでお気軽にご相談ください。

 OH-Fコート(オーエフコート)のご案内 「Type F・S」 

OH-F(タイプF)・・・フッ素ベースの超薄膜(膜厚6nm)。離型及び非粘着に優れ、耐熱温度は210〜250℃です。

微細なマスキング可能・・・一部分のみを処理したい場合や、平板などのような一面全体を処理したい場合なども対応可能。

薄膜による鏡面維持・・・フッ素樹脂コートなどでは処理前にブラスト工程があるため、鏡面金型や刃物などに使用できなかったのですが、加工状態を維持したままの処理が可能です。

金属以外への処理も可能・・・処理温度が低温なため、ゴムや樹脂などへの施工も可能。ゴムの滑り性や離型性付与、樹脂の非粘着性付与などにもご利用可能です。

低温処理による熱変形の恐れなし・・・低温による処理方式の為、基材に熱による変形などもございません。薄い板状の物などへも処理は変形なく処理可能です。


新登場! OH-Fコート高温タイプ
通常のOH-Fでは対応しきれなかった高温(342℃)まで離型性・非粘着性が失われないタイプです。




離型実績:エラストマー樹脂の離型対策・鏡面金型への離型対策・シボ面の離型対策・etc
非粘着実績:粘着テープ搬送治具・フィルム抜き金型・カッターナイフ・スリッターナイフ・ロール・ビク型(トムソン型)・etc
PVD+OH-Fという耐摩耗+非粘着タイプもございますのでご相談ください。





OH-FコートTypeS・・・シリコーンベースの薄膜。離型及び非粘着、特に滑り性と耐熱性に優れ、耐熱温度は150〜350℃です。

微細なマスキング可能
・・・一部分のみを処理したい場合や、平板などのような一面全体を処理したい場合なども対応可能。

薄膜による鏡面維持・・・フッ素樹脂コートなどでは、処理前にブラスト工程があるため、鏡面金型や刃物などに使用できなかったのですが、加工状態を維持したままの処理が可能です。

金属以外への処理も可能・・・処理温度が低温なため、ゴムや樹脂などへの施工も可能。ゴムの滑り性や離型性付与、樹脂の非粘着性付与などにもご利用可能です。

低温処理による熱変形の恐れなし・・・低温による処理方式の為、基材に熱による変形などもございません。薄い板状の物などへも処理は変形なく処理可能です


離型対策:コアピンの引き抜き対策・ホットメルト金型・エンボス加工・etc

非粘着対策:フィルムロール・ダイカットロール・フィルム金型・熱板溶着・etc
PVD+OH-Sという耐摩耗+非粘着タイプもございますのでご相談ください。


※相手材料や使用環境などで使い分けれる2種類のタイプをご用意しておりますので、まずはご相談ください。


     



エポキシ樹脂の離型・粉末の溶着(こびり付き)防止・ゴムの離型・etcなどに!

Infinityとは?
・・・非粘着性・耐摩耗性・耐薬品性に優れ耐熱温度は450℃〜800℃、無機質の為有機材料を含みません。

耐久性の秘密
・・・耐熱温度が高い為、硬度を維持する事が可能


DK-coat Infinityは、セラミックを原材料に使用し、ゾルゲル複合材料技術を用いたコーティングです。
『無毒・無害』な無機材料を使用した、次世代に必要とされるセラミックコーティングです。
DK-coat Infinityは、無限の可能性を秘めるセラミックコーティングです。
耐熱性(最大800℃ Infinity800)が非常に優れているため、非粘着性、低摩擦性、耐摩耗性に優れ、
硬度9Hの硬い皮膜により、飛躍的に耐久性を向上しました。また、遠赤外線放射により、熱伝導性にも優れています。


※通常グレードは高い絶縁性となりますが、帯電防止グレードもございます。





フッ素樹脂コーティングとの大きな違い

DK-coat Infinity(インフィニティ)
は、耐久性に優れているため、
ランニングコストが大幅に削減可能なうえ、有害物質が発生しないため、安全にご使用いただけます。


@耐熱性⇒ DK-coat Infinityは、450℃、800℃の高温に対応
⇒300℃以上でのご使用が可能です。


A耐摩耗性⇒ DK-coat Infinityは、鉛筆硬度8H~9Hと硬く引っかきに強い
⇒摩耗による部品交換等が削減できるため、ランニングコストが大幅に削減できます。

B非粘着性⇒ DK-coat Infinityは、フッ素樹脂コーティング(PTFE、PFA等)と同等
⇒耐熱温度が高く、摩耗にも強く傷つかないため、非粘着性が持続します。

C耐スチーム性 ⇒ DK-coat Infinityは、蒸気に強く、塗膜が剥離しにくい良好な密着性
⇒無機系コーティングであるため、水蒸気が塗膜から浸透することがなく剥離しません。

D熱伝導性 DK-coat Infinityは、熱伝導が良好なうえ、遠赤外線放射でさらに良好
⇒省エネ効果をもたらすだけでなく、調理器具への採用でおいしさUP!
熱伝導と遠赤外線効果で表面だけしっかり焼けば、中まで火が通りやすく調理効率UP!

E安全性 DK-coat Infinityは、温度が上がりすぎても有害ガスの発生なし
⇒温度が上がりすぎても、有害物質の発生がなく、塗膜が燃えたりすることもありません。

フッ素樹脂コーティングとセラミックコーティングの比較
フッ素樹脂コーティング(PTFE) DK-coat Infinity311
非粘着性
      ◎
     ◎
耐熱温度
     260℃
    450℃
耐摩耗性(常温)
      ◎
     
耐摩耗性(200℃)
      △
     
鉛筆硬度(常温)
      2H
     9H
鉛筆硬度(200℃)
      B
     9H
耐腐蝕性(Nacl 5% 加熱100h)
      ◎
     

※より平滑面をご希望の場合は、Infinity330というグレードもございます。

食品系
・寿司ロボット、おにぎりロボット、炊飯釜、陶板皿
・天板、食パン型、ピザ用天板、餃子焼き型
・菓子型(ワッフル型、ドーナツ型、タイヤキ型等)
・焼肉プレート、鉄板焼プレート、たこ焼き型
・インスタント麺カゴ、フライヤー、ホテルパン
・オーブンレンジ用トレイ、コンロ周辺器具

工業系
・各種ホッパー、シュート、ガイド、ローラー、刃物類
・アイロン、ヘアーアイロン、はんだコテ先、ヒーターパネル
・高温成型金型、高温切断刃物、樹脂注入ノズル
・樹脂プレス熱板、押出し成型用スクリュー、撹拌羽根
・高温用インペラー、ヒーターローラー、高温用フローターノズル
・高温乾燥機、熱風送風機、高温用ダクト、高温用配管
・熱交換器、メッキ治具、メッキ槽、撹拌羽根

仕様用途によりフッ素樹脂コーティングとInfinityを使い分けしてご使用になられるのが理想的です。
お気軽にご相談ください。



 500℃耐熱離型コーティング / GDコート

GDコートは複合プロセスの融合により、化学反応層を形成することで、強固な密着力、被覆力を実現し、その被膜はフッ素コートより優れた、離型性、
滑り性、耐摩耗性を発揮するだけでなく、緻密、微細、均一な反応層により、シリコンよりも優れた撥水性、耐食性を有します。
また、その反応機構により、
500℃の耐熱性を保持し、あらゆる樹脂、ゴム成型金型に、絶大な性能を発揮します。

複合処理により非粘着性及び離型性をさらに向上させることも可能です。
弊社テープピーリングテストでは圧倒的な非粘着性の差がありました。
・GD+CrPlating
・GD+CrPlating

 表面SEM比較(フッ素コート vs. GDコート)
GDコーティング
   フッ素コート表面                 GDコート表面


断面SEM比較 (フッ素コート vs. GDコート)
 Dコーティング
     フッ素コート断面                        GDコート断面

表面、断面比較より一般的なフッ素コートに比べ、GDコートは緻密に均一に被膜中に分散し、被覆力が高いことがわかる。

FT-IR測定比較(フッ素コート vs. GDコート) 












        フッ素コート              GDコート

上記FT-IR(フーリエ変換赤外線分光)測定の結果より、GDコートはフッ素コートに比べ、C-F伸縮(1200p-1付近)の強度が増えており、C-H伸縮(2900p-1付近)の強度は弱くなっているので、C-F部位を持つ部分が多くなっている。 
これにより、GDコートはF(フッ素)の持つ特性を、より発揮することができます。

GDコーティングの適用例

 適用産業
 適用部品
要求特性 
自動車・機械部品
ベアリング、シリンダー、スライダー、ピストン、シャフト、カードキー
滑り性、耐摩耗性、耐熱性
金型:工具
ゴム金型、樹脂金型、レンズ金型、印刷ロール、接点材料
離型性、耐摩耗性、滑り性、非粘着性、耐ガス・薬品性、耐熱性、耐硫化性
半導体・電子部品
半導体真空部品(ガススクラバー、パイプ、バルブ)、各種チャック、メタルマスク
平滑性、潤滑性、耐ガス・薬品性、耐熱性
 食品・医療
 食材投入ホッパー、容器、注射針、ステント、スライダー
 抗菌性、滑り性、抗血栓性、耐食性


 LELLYON CL , ATL
アルミダイカスト用溶損対策被膜「LELLYON-CL・LELLYON-ATL(レリオンCL・レリオンATL)」
溶損試験にて抜群の耐溶損被膜が完成しました。
ダイカストピンの溶損でお困りのユーザー様是非お試し下さい。


TiAlN・CrN・・・ピンホールを起点とし溶損が進行している。
CL・ATL・・・現行膜より高負荷試験(回転速度・浸漬時間2倍)にも関らず、LELLYON CLは小さい穴は確認できるが、大きな溶損は確認できない。

現行膜より高負荷試験にも関らず、LELLYON ATLはほとんど溶損が進行していない。



試験条件
試験片材質 SKD61(HRC48)
試験片寸法 φ10×100(50浸漬)
試験片数量 1試験4本
試験片の動き 60rpm(現行膜は30rpm)
アルミ溶湯の種類 ADC12
アルミ溶湯温度 670℃±20
浸漬時間 8hr(現行膜は4hr)
表層膜(耐熱または離型効果)
多層膜(耐溶損効果)
中間層(耐ヒートクラック効果)
耐溶損性向上
このQLIMAQ LELLYONシリーズは、中間層を設けることで、耐ヒートクラック性を上げ、多層にする事で、ピンホールを減らしています。これにより、現行のTiAlN・CrNと比較し耐溶損性に優れています。

※更にCL・ATLより耐熱・耐溶損に強いLELLYON-BZ(レリオンBZ)という新被膜もございます
ICFコーティング シリーズ
 

高機能・高性能カーボン膜
ICF膜(Intrinsic Carbon Film)は、DLCを含む高機能・多機能を
持つカーボン膜の総称です。ICF膜はアモルファス(非昌質)カーボン膜で、
グラファイトとダイヤモンドの中間の構造に位置します。
膜表面が滑らかで、摩擦係数が低く(μ=0.1)、自己潤滑性があるため、
軟質金属の成形時に、金型への金属凝着を防いだり、金型鏡面部を保護します。
ICF膜を油代わりとし、オイルレス化やメンテナンスフリーを目指します。

原理
真空中において特殊なイオン源により、炭化水素ガスをプラズマ中でイオン化し、
高硬度で摩擦係数の低いICF膜を生成させます。


ICF膜のトライボロジー特性
ICF膜はアモルファス構造のため結晶粒界を持たないため窒化チタンなどの多結晶構造の硬質薄膜と比べて
非常に平滑な表面をしています。
AFM
(原子間力顕微鏡)で見た、4ミクロン四方での平均表面粗さは7オングストロームで、窒化チタンでは
110
オングストロームでした。
こうした表面平滑性とカーボン材料としての物性がICF膜に優れた摩擦摩耗特性(トライボロジー特性)を付与
していると考えられます。

SUS304+ICF鏡面コート SUS304+TiNコート
SUS304+ICF鏡面コート SUS304+TiNコート
(膜厚1μm、平均表面粗さ7Å) (膜厚2μm、平均表面粗さ110Å)

従来のTiN薄膜と超鏡面ICFの比較AFM像を上図に示します。
従来の硬質薄膜に比べ非常に表面が滑らかであることがわかります。

用途
軟質金属(アルミ・銅・はんだめっき・金メッキ)成形金型及び工具、治具、機械部品
圧粉成形金型(フェライト・セラミックス・超硬合金)
プラスチック成形金型(小型コネクター)
電子部品搬送ガイド・実装機用吸着コレット

機械的特性
硬   度:2,000〜2,200HV
摩擦係数:μ=0.1
膜   厚:標準 1μm  0.1μm以下の超薄膜も対応可

適用材質
   超硬合金・SKH・SKD・SUJ2・アルミ合金・ベリリウム銅など

 
ダイカットパンチ アルミ加工用工具 プラスチック成型金型 電子部品搬送ガイド
ダイカットパンチ
アルミ加工用工具
プラスチック成型金型
電子部品搬送ガイド
 

従来、DLC膜は硬いが故に割れやすい、剥離しやすいと言われてきました。
コーティング条件や膜の傾斜層の工夫により、初期摩擦係数が低く(μ=0.15)、高い荷重
が加わっても、剥離しにくく、耐久性と耐摩耗性に優れた高耐久性ICFを開発しました。
メンテナンスフリーを目指して使用する金型や摺動部品の信頼性や寿命向上に貢献します。

機械的特性評価 初期摩耗係数 μ=0.130 μ=0.145 
耐久性ICF摩擦係数データ
高耐久性ICF摩擦係数データ
ボールオンディスク摩擦摩耗試験条件(CSM社 TRIBOMETER使用)
WC-Co+ICF高耐摩耗 2μm ボール材質:超硬合金 φ6mm
荷重:20N  周速度:100mm/sec  移動距離:1000m

ディスク摩耗痕
DLCICF従来DLCよりもさらに高耐久

従来DLCと比べ1/100になり、DLCよりも高い高耐久性を実現 

摩耗量比較

用途
圧粉成形金型(面圧の高い成型金型)
高面圧ギア(初期摩擦係数が低い)

応用例
マグネット圧粉成形パンチ(SKD11)

目的
粉の付着防止、パンチ鏡面部の保護

使用条件
無潤滑 上下プレス
結果
DLC-Hard 10,000ショット ICF高耐摩耗 300,000ショット
30倍寿命向上

その他曲げ加工用、絞り加工用金型部品などでの実績も多種ございます。
既存のDLCで剥がれ等起きてしまってお困りの場合はご相談ください。
機械的特性
コートサイズ
φ200×150mm
硬度
1,000〜1,200HV(ナノインデンテーション)

膜厚
2〜3μm

摩擦係数
0.13〜0.16(ボールオンディスク法)


ドーピング技術と負パルスバイアスイオン化蒸着(PBIP:Pulse Biased Ion Plating)法により、絶縁性を向上させたICFを開発しました。

DLCから進化した高機能膜ICFは、導電性から絶縁性まで幅広く制御抵抗率の制御が可能です。
静電気対策・電極保護膜には導電性ICFが有用、耐食性・低摩擦・半田付着防止・高硬度と導電性を両立。

絶縁性ICF     標準DLC     導電性ICF 
絶縁性ICF オーバーレンジ     標準DLC 7.62MΩ           導電性ICF 120.4Ω

負パルスバイアスイオン化蒸着法による硬さ及び絶縁性の制御

PBIP法は各種材料などへの成膜を可能にし、膜の構造を制御することで硬さを7〜22GPaと大きな範囲で制御できるために、用途や基材に対応して選択することができます。これにより高い密着性と絶縁性を両立できます。

成膜条件と硬さの結果
絶縁
パルスバイアス条件による硬さ制御
コロナサーフ(フランスHEF社製)を使用しコロナ放電により帯電させた試料の電荷保持時間
絶縁
帯電性評価(電荷保持力)
保持時間が長く表面電荷が高いほど絶縁性が高いと判断でき、グラフでは絶縁性ICFが従来のDLCと比較して高い帯電性(電荷保持力)があることがわかります。
また、その保持時間も長く維持されています。

用途

電極保護膜
耐摩耗性の絶縁性保護膜

帯電用電極

機械的特性

抵抗率
1010〜1014Ω/□
硬度
800〜2,000HV(ナノインデンテーション)
膜厚
0.5〜1μm
摩擦係数
0.1〜0.25(ボールオンディスク法)

※上記の値は、Siウエハ上における実験データです。
  コーティング品の形状・材質・中間層の有無などで若干の変動があります。


新たなドーピング技術により従来絶縁性であったDLCコーティングに導電性を付与した導電性ICFを開発しました。



■従来では不可能であった高硬度と導電性の両立に成功しました。

ICF導電コーティング

耐摩耗性と帯電防止を両立したコーティング(静電気対策)

導電性ICFは、帯電防止を必要とする各種部品や耐摩耗性または耐食性が必要な各種電極へ応用することができます。従来の帯電防止コーティングの代替としてコスト削減などにつながることなどから導電性ICFは帯電防止としての機能も注目されています。帯電防止


仕様

上記の値は、石英ガラス上における実験値データです。コーティング品の形状・材質等で仕様は若干変更となります。
また、上記製品は特許申請済み品です。

適用材質
Siウエハ、超硬合金・SKH・SKD・SUJ2・SUS、ガラスなどの基材により中間層の成膜が必要

コートサイズ
※サイズ要相談(一度お問い合わせ下さい)

用途
各種電極部品への保護膜
電子放出材料
帯電防止用保護膜
プローブ保護膜
板パネピン
電極の耐腐食性保護膜
電極の半田付着防止膜
二次電池
バッテリー

 

コーティング条件の工夫により、DLC被膜に水を弾くフッ素樹脂のような撥水性を持たせました。
超硬合金と同等な硬度(HV1,000)で、摩擦係数が低い(μ=0.04〜0.17)DLC被膜の処理です。
通常のDLC処理品より黒色である為に光反射防止用途としてもご使用いただけます。(耐磨耗+薄膜+黒色被膜)
金型汚れを防ぎ、生産性の向上に寄与します。
垂直方向に対しての衝撃に弱かったDLCの面圧向上対策の特別仕様もございます。


撥水テスト:超硬母材+フッ素DLC(膜厚1μm)   107.7°(チャンピオンデータ)
       超硬母材のみ                 50.1°


撥水テスト結果

ICF撥水コーティング ICF撥水コーティング
超硬合金+ICF撥水コート1μm
(チャンピオンデータ)
超硬合金

撥水
超硬合金

適用材質
超硬合金・SKH・SKD・SUJ2・SUS・セラミック・アルミ

コートサイズ
φ300×200mm

膜厚設定
標準1〜2μm ※0.1μmの超薄膜も対応可能

用途
金型への汚れ付着防止(撥水性)
部品への光反射(乱反射)防止(黒色被膜):耐摩耗性+光反射防止効果
粉末圧粉成型(フェライト、超硬、etc):面圧向上、通常DLCの数倍アップ
従来のDLCで剥離が起きていたような状態であれば一度お試しください。
【外観写真】

 

 

従来DLC膜は350℃近辺より、グラファイト結晶が成長したり酸素の影響で劣化し、
密着力不良や硬度の低下を起こしてしまいました。
コーティング条件の工夫により、超硬合金より高い硬度で高温下(500℃)でも摩擦係数の低い
DLC膜の処理が可能になりました。
高温下で使用する金型や摺動部品の寿命向上に貢献します。

原理
真空中において特殊なイオン源により、炭化水素ガスをプラズマ中でイオン化し、耐熱性の高いDLC膜を生成させます。



機械的特性評価 摩擦係数=0.1

500℃ボールオンディスク摩擦磨耗試験条件
(CSM社 TRIBOMETER使用)
WC−CO+ICF耐熱 5μm ボール材質:ガラス φ6.25mm
荷重:5N  週速度:100mm/sec 移動距離:200m
 
 

ヒートプレート(SKD11)

使用条件
450℃大気中で加熱

結果
ノーマル DLC 3週間
耐熱ICF    3ヶ月
4倍寿命向上

用途
非球面ガラスレンズ金型(膜厚0.1μm)
ヒートプレート・温間鍛造金型・etc・・・


仕様
耐熱性:500℃
膜硬度:HV1,400〜1,500
摩擦係数:μ=0.1
膜厚:標準1〜2μm  0.1μmの超薄膜も対応可
コーティング範囲:φ300×200mm
処理温度:250℃
適用材質:超硬合金・SKH・SKD・SUJ2・SUS・アルミ

 

特徴
低温処理で安定した密着性
 250℃以下の低温処理が可能なため、SCM浸炭鋼やSKS、SUJ等にも、母材硬度低下を最低限に抑えて処理可能です。
 しかも安定して優れた密着力を得られます。
高精度コーティングが可能
 半導体プロセスで実績のあるスパッタリング技術をベースとして、大型ターゲットを使用しているため
 膜厚精度、再現性も優れています。
 公差の厳しい精密部品・精密金型にも適用可能。
ドロップレットがなく表面が平滑
 アークIPのようなドロップレットがないため、表面粗さの小さい均一な平滑表面が得られます。
 このため、摺動部品・精密金型で相手材への攻撃性が低く、良好なトライボロジーが得られます。


用途
リードフレーム金型・・・はんだめっきされた半導体リードフレームの曲げ加工において、DLCされた超硬
 合金金型は、クリーニングサイクルが4倍以上長くなり、凝着物が容易に除去可能なためクリーニング時間が大幅に短縮。
 アルミ板のハイスパンチの打ち抜きでは、穴内側面の凝着がないためかえりが発生せず高品質の穴加工が無潤滑で可能。
ゴム成型金型・・・エラストマー成形において、アブレシブ摩耗を受ける射出部の摩耗を防ぎ、精密成型品の精度を維持。
 Oリング成形やオイルシール成形金型への処理の効果として次の利点があげられます。
 金型寿命(耐摩耗性・耐食性)の向上・・・クロムメッキの3〜5倍
 成形ゴムかす付着が少ないため、クリーニング頻度が低減・・・型汚れの減少・生産効率の向上)
 成形品形状精度の向上、信頼性向上
プラスチック成型金型・・・PET樹脂には、DLCやドロップレットのないTiNが効果があります。
 PET樹脂のピアスパンチでは、DLCにより打ち抜きバリが低減し、研磨頻度が大幅に延長されます。
 コネクタ部品などのガラス繊維入りPPS樹脂成形には、耐食性・耐摩耗性・離型性に優れた膜が効果発揮します。
 射出成形機スクリューヘッド部品などにも効果ございます。
 
各種窒化系処理
ニューカナック処理(浸透拡散表んめん硬化処理法)

製造工程や加工内容、更に加工材質により様々なカナック処理があります。
ユーザー様のご希望に沿ったカナック処理をご提案させて頂きます。


カナック処理・ニューカナック処理・サーフ処理・カナックOX処理
カナックHOX処理・カナックプラス処理・カナックPVD処理・スーパーサーフ処理

 
【各種鋼材とニューカナック処理後の表面硬さ】
プリハードン鋼
材料名
鋼種区分
表面改善
(メーカー名)
(JIS)
ニューカナック処理後の硬さ

 NAK80 (大同)

 析出硬化系  600〜800Hv
 HPM50 (日立)  析出硬化系  600〜800Hv
 KAP88 (日本高周波)  析出硬化系  600〜800Hv
 DH2F (大同)  SKD61系  800〜1100Hv
 FDAC (日立)  SKD61系  800〜1100Hv
 IMPAX (ASSAB)  SCM系  600〜800Hv
 PDS5 (大同)  SCM系  600〜800Hv
 PX5 (大同)  SCM系  600〜800Hv
 YAG (日立)  強力鋼  1000〜1200Hv
 MAS1 (大同)  強力鋼  1000〜1200Hv
 
 

焼入鋼
材料名
鋼種区分
表面改善
(メーカー名)
(JIS)
ニューカナック処理後の硬さ
 STAVAX (ASSAB)  SUS420J2改良  1200〜1400Hv
 HPM38 (日立)  SUS420J2改良  1200〜1400Hv
 S-STAR (大同)  SUS420J2改良  1200〜1400Hv
 ELMAX (ASSAB)  SUS44C系  900〜1400Hv
 DHA1 (大同)
 DH21,33 
 SKD61系  900〜1200Hv
 DAC10 (日立)
 DAC45,55
 SKD61系  900〜1200Hv

 KDAMAX (日本高周波)

 SKD61系  900〜1200Hv
 ORVER (ASSAB)  SKD61系  900〜1200Hv
 
 
 
特徴
 従来のコーティングの場合、必ず膜を覆うため寸法が+何ミクロンか増えてしまいます。
  カナック処理は浸透処理のため寸法変化が微細です。
 
 とにかく非鉄系に強いです。中でも半田・アルミ・黄銅などには無敵の効果が期待できます。

用途
 SUSやSKDの表面硬度を超硬合金並みに上げますので、金型部品の耐摩耗性や離型性を向上させます。
 アルミなどの非鉄系の溶着も防ぎますので金型の寿命を格段に向上することが可能です。
 ガス窒化なので細穴の中でも処理可能です。

・白層(窒化鉄)が生成されない。
・複雑な形状、深穴の中も均一に処理できる。
・ステンレスの硬化処理に適している。
・拡散層の深さをコントロールできる。
・処理による変形が極めて少ない。
・処理後の肌荒れが極少である。
・ステンレス部品・ダイカスト金型・プラスチック金型・粉体部品・機械摺動部品・etc…

★その他の取扱窒化処理
  ガス軟窒化・スルスルフ・タフトライド・プラズマ窒化・キリンコート(窒化+PVD)



高周波焼入れは,鉄鋼材料で造られた部品の必要部分のみを瞬時の加熱と急冷により焼入れ硬化させる熱処理です。
高周波焼入れでは,高周波発振機の周波数や加熱コイルの形状を選択することで
大型建設機械から精密機械にいたるまでの様々な部品を表面硬化することにより,
部品の耐摩耗性や疲労強度などの機械的強度の向上が容易に得られます。
自動車・建設機械・工作機械など様々な分野でお客様のご希望に対応させて頂いております。

「特長」
・短時間で表面焼入れができます。
・焼入れ深度の調節ができます。
・局部加熱ができます。
・均一で良質な焼入れができます。
・焼入れ経費が著しく節約できます。
・機械部品の材料として、高価な合金鋼から
安価な炭素鋼に変えることができます。
主要設備
 電動発電機式高周波発振機
 1基
 サイリスターインバー ター式高周波発振機
 6基
 真空管式高周波発振機
28基
 高周波焼入れ機
85基
 電気炉
11基
 磁気探傷機
 6台
 歪み矯正プレス
 6台
 ロックウェル硬さ試験機
13台
 ビッカース硬さ試験機
 6台
 マイクロビッカース硬さ試験機
 5台
 金属顕微鏡
 7台
 
DLCコーティング、DLC−soft(メタルDLC)コーティング
国内最大級の大型DLCコーティング加工
精密金型から大型品・3.5mの長尺品までコーティングが可能、是非一度ご相談ください
印刷用ロールへのコーティング加工
実施例:印刷用ロールへのコーティング

用途
  レンズ金型・樹脂成型金型・自動機の摺動部・・・。絶縁にも効果あります。
  DLCコーティングは現在多くの用途に使用されて効果を挙げていますが、
  高硬度、低温処理のため高荷重下における密着力に不安がありました。
  DLC−softはこの問題を解決すべく、被膜の硬度を許容範囲まで下げることにより
  被膜の密着力を大幅に向上させたものです。
  この被膜は欧米を中心に広がりを見せ、自動車部品、燃料噴射ポンプ部品など
  高荷重のかかる摺動部、転動部への適用がなされております。

アルミの溶着・半田メッキの付着など非鉄によるトラブル対策にも!!

弊社にて一番DLCの相談で多いのがメッキかすを出さない方法は無いか?という相談です。
超硬部品を使用している企業様が殆どですが、超硬母材の面粗度が命です。鏡面にすれば
するほどDLCの密着力が増すのと同時に平滑性が出ますのでメッキ層を傷つけることなく加工が可能になります。
弊社では金型加工〜表面処理(表面改質)まで一貫した請負を行ってますので是非一度試してみて下さい。

 
 DLC-soft(メタルDLC)/U−DLCコーティング比較表
DLC-soft
アンダーコートDLC
被膜硬度 (HV) 1000〜1200 3000〜5000
摩擦係数 (μ) ≦0.1 ≦0.1
標準膜厚 3μm 1μm
処理温度 ≦200℃ ≦200℃
密着力 (N) *1 100〜120 20〜60
膜内部応力 (GPa/μm) 0.1〜1.5 5

DLC処理と一般的なTiNなどでは同じ面に処理してもこれほど面状態が違います。
 

SUS304+DLC(膜厚1μm,平均表面粗さ7A)   SUS304+TIN(膜厚2μm,平均表面粗さ110A)

ガラスレンズ金型用DLC成膜

ガラスレンズ精密金型の分野で広く活用されておりますDLC膜は、デジタルカメラ、監視カメラ、携帯電話カメラなどのレンズ製造で使用されるガラスレンズ金型用の成型金型においても、その離型性・表面精度・低コスト・リサイクル寿命の特性を得て、高く評価されております。
弊社では、これまでの装置製造と受託成膜の分野において築き上げた高い技術と経験を生かし、レンズ金型への離型膜としてDLC成膜の「試作」から「量産」まで幅広く受託成膜サービスを提供します。


【DLC成膜仕様】
膜種:単層DLC、中間層+DLC、耐熱DLC 
膜表面粗度:Ra 約5nm以下(中間層+DLC条件)
膜硬度:HV1,300〜2,200
成型耐熱温度:〜600℃(一般ガラス)、600℃〜750℃(高融点ガラス)
金型材料:WC、SiC

DLCDLC

 
   スリックコートH(既存DLC)・スリックコートS(低μ)・スリックコートF(耐熱、水中、油中)
 
スリックコート(S/H) 


高硬度・電気絶縁性・赤外線透過性などを持つカーボン薄膜

スリックコート−S(新DLC) 4つのポイント
Point@低摩擦係数(0.05以下)でより
      潤滑性に優れた膜です。

PointA低硬度(1,000〜2,000Hv)で
      靭性に優れ密着力の高い膜です。

PointB低い内部応力のため厚膜処理
      (MAX3.0μm)が可能です。

PointC処理(生成)温度は200℃以下です。


スリックコートの特徴
膜種
色調
膜厚
硬度(HV)
摩擦係数*1
耐食性
耐酸化性
耐磨耗性
耐焼付性
TIN
金色
1.0〜4.0
2.000〜2.500
0.50〜0.55
CrN
銀白色

1.0〜10.0

2.000〜2.200
0.40〜0.45
TiCN
赤茶色〜灰色
1.0〜4.0
3.000〜3.500
0.45〜0.50
スリックコートーS
(新DLC)
黒色
1.0〜3.0
1.000〜2.000
≦0.05
スリックコートーH
(既DLC)
黒色
0.5〜1.5
2.500〜4.500
≦0.10
*1) ボールオンディスク試験:アルミナ球(無潤滑)
 
 

加工相手により分類したスリックコートの応用分野
母材
効果
相手材(一例)
応用製品(一例)
超硬合金
工具鋼
金型鋼
ステンレス鋼
アルミニウム
耐磨耗
耐溶着性
離型性
低摩擦係数
アルミニウム
アルミニウム合金
バニシングリーマ、インサートピン、ドリル
製缶金型
軟質金属(半田、銀)
半田メッキ、錫メッキ類
ヒートコマ、電子材料金型、リーマ、ドリル等切削工具
セラミック焼結金属

フェライト型、電子部品金型、リーマ、ドリル等切削工具

エポキシ樹脂 ドリル、ICパッケージ金型
グラファイト、チタン
ニッケル合金
メタルソー、エンドミル、ドリル等切削工具
耐磨耗
耐溶着性
摺動部品
アルミニウム 打ち抜きポンチ、スリッター、裁断刃、製缶金型直具
低摩擦係数 アルミニウム 摺動部品
 
 
DLCコートは、処理温度がPVDに比べ低い為に比較的処理可能な材種は多いです。
セラミック材にも処理可能ですし、薄い厚みの材料へも処理できる可能性が高いです。
DLCコートという名前は知れ渡っておりますが、DLCコートにも様々な分類がありますので
気軽にご相談下さい。


スリックコート-F
DLC(Diamond Like Carbon)とは、プラズマを利用した気相合成法により合成されるカーボン系薄膜の総称です。DLC膜の構造は通常水素を若干含有した平滑な非晶質(アモルファス)構造でダイヤモンド結合やグラファイト結合などを持つものと言われています。
DLCは作製方法によって特性が異なります。膜中の水素の有無によって、膜の硬さおよび密着力が異なります。使用する条件によって膜種を選択する必要があります。是非ご相談ください。

スリックコートの処理(生成)温度は200℃以下です。
スリックコート
 
スリックコート-Fの3つのポイント
Point1 従来のスリックコートより高い耐熱性
Point2 中硬度(1500〜2500HV)で密着性に優れています。
Point3 大気中・水中・油中において低摩擦係数を示します。相手への低攻撃性。
適用分野
ゴム・樹脂・ガラス成型金型・・・従来のDLCでは成型温度の問題から適用が難しかった製品への適用が期待
無潤滑・水中・油中の摺動部品・・・低摩擦係数によりこれらの摺動部品への適用が期待
スリックコート−H/S/F
3種類のDLCのうちどれをご使用されればベストかは、弊社へご相談ください
用途や使用環境によって使い分けされた方がより良い延命効果が期待できます。
 
表面処理
P-inR処理 樹脂成型の離型目的に効果的

P-in処理・・・滑りと硬度の技術
P-inR処理事例写真 P-inR処理事例写真
硬度 Hv400〜700(膜厚により変化)
特徴 (1) 撥水性に優れる。
(2) 離型性に優れる。
(3) 摺動性に優れる。
(4) 耐薬品性に優れる
用途 (1) ピストンリング、バルブ。
(2) 成形金型。
(3) 摺動部品。
(4) 滑り、撥水性を有する部品。

【付加価値提案】

テフロン無電解ニッケル皮膜に独自技術の組み合わせで、このような付加価値を与える事ができます。

  • 面粗さを調整する事ができます。
  • 部分的にめっき処理を施す事ができます。
  • 皮膜を硬くする事ができます。
  • 摩擦性を低下させる事ができます。
  • 撥水性を向上させる事ができます。
  • 離型性を向上させる事ができます。
  • 膜厚を測定する事ができます。
  • ROHS指令に抵触せずに処理する事ができます。

例:テフロン無電解ニッケルよりも撥水性を向上させたいなどの案件も、
⇒独自の技術で解決した実績がございます。

※詳細につきましては、弊社までお問い合わせください。
また、上記以外の付加価値を加えたい場合でも、ご提案できる可能性がございますのでお問い合わせください。

B-inR処理 アルミ部品との相性が良いです

B-in処理・・・硬度と耐久性を兼ねそろえた技術
B-inR処理事例写真 B-inR処理事例写真 B-inR処理事例写真
硬度 Hv700〜800(膜厚により変化)。熱処理後:Hv1000±100
耐食性 鉄上3μmの皮膜
(1) 酸性硫酸銅液 30秒
(2) 85℃エアー吹込水中2時間
(3) 塩水スプレー(5%)塩水22℃100時間
(4) 70℃、比湿度95%、1時間
(5) 450℃、空気雰囲気500℃、30分
特長 (1) 耐熱性に優れる。(溶融点:1400oC)
(2) 耐変色性に優れる。(大気中650oC:80分で変色なし)
(3) 電気抵抗が小さい。
用途 (1) 半導体、電子部品。
(2) 自動車部品。
(3) リード端子。
(4) 耐熱性部品、硬度を有する部品。
(5) 放射板
【付加価値提案】
ニッケル−ホウ素皮膜と弊社独自の技術の組み合わせで、このような付加価値を加える事ができます。
  • 食品衛生法に沿う形でめっき処理する事ができます。
  • 面粗さを調整する事ができます。
  • 部分的にめっき処理を施す事ができます。
  • 皮膜を硬くする事ができます。
  • 耐摩耗性を向上させる事ができます。
  • 膜厚を測定する事ができます。
  • ROHS指令に抵触せずに処理する事ができます。

例:400oC程度で使用する精密部品の、熱での変色を防ぎたいが製品の精度は崩したくないなどの案件も、
⇒独自の技術で解決した実績がございます。

※詳細につきましては、弊社までお問い合わせください。
また、上記以外の付加価値を加えたい場合でも、ご提案できる可能性がございますのでお問い合わせください。

W-B-in(R)処理 耐熱耐摩及び滑り性向上

W-B-in®処理・・・硬度・耐薬品性と離型性を兼ね備えた技術

W-B-in®処理とは?
従来のNi-B(ニッケルボロン)皮膜に、W(タングステン)が加わっています。
組成は、Ni 94%・W 5%・B 1%となっており、光沢があります。無電解めっきであるため、寸法精度を維持する事ができます。
W-B-in(R)処理事例写真

耐薬品性 ニッケルボロンタングステン合金めっきは、高濃度の塩酸・硫酸・フッ化水素酸に侵されることがありません。
離型性 タングステンが共析することにより、皮膜の離型性が良好です。
弊社従来皮膜を大きく上回ります。

A:皮膜の離型性のグラフを見る

B:皮膜の離型性の表

  最大剪断応力(N/cm2)
W-B-in®処理 3.5
テフロン無電解ニッケル 5.0
B-in®処理 5.1
無電解ニッケル 5.3

試験法:試験片にニチバン製絆創膏を貼付し、剪断応力を付加して、剥離する際の力を測定。
貼付面積:1.5cm×0.9mm


用途 成形金型、耐熱性部品、硬度を要する部品に最適。

【A:皮膜の離型性のグラフ】

テフロンクロムコート テフロンとクロムの複合技術

テフロンクロムコートとは?
硬質クロムの利点とPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)の利点を兼ね備えた皮膜です。高い摺動性と耐食性を得る事が可能です。
テフロンクロムコート事例写真

耐摩耗性 クロムとPTFEにより、今までにない良好な耐摩耗性を得る事ができます。
皮膜耐食性 皮膜の耐食性も良好な結果が得られ、キャス試験にてレイティングナンバ10を維持する耐食性となります。
用 途 摺動部品、成形金型、ピストンリングなどで撥水性、すべり性、離型性を要求する製品に最適。
※処理前加工もお気軽にご相談ください。
バフ研磨加工・ブラスト加工・ナシジ加工・LAP加工



フッ素樹脂コーティング・ニダックス、ニフグリップ、タフラム

ニダックス NEDOX
※ニダックスはアルバックテクノ(株)の登録商標です。

硬くて滑らかな表面、ニダックスの優れた特性をご利用ください。
鉄、ステンレスおよび銅合金に対してニッケル皮膜をベースとし、析出させたニッケル皮膜に
フッ素樹脂を含浸させて熱処理を行った表面処理(表面改質)です。
ニダックスは高硬度で耐摩耗性、滑り性、かじり防止、非粘着性に優れ、極めて滑らかで
しかも硬い表面を持ち、素材との密着力にも優れた高機能複合処理です。
また、つきまわり性が良いため寸法精度が要求される部品にも対応可能です。
電子部品関係でシューター等滑り性を必要とされる治工具に効果的です。


ニフグリップ NIFGRIP
※ニフグリップはアルバックテクノ(株)の登録商標です。

離型性に富んだ表面、ニフグリップの優れた特性をご利用ください。
鉄、ステンレスおよび銅合金に対して、ニッケルとフッ素樹脂を
共析させた後に熱処理を行った表面処理(表面改質)です。
その皮膜は容積比で10%および30%のフッ素樹脂が均一に分布しているため、
フッ素樹脂の性能が発揮され特に非粘着性に優れており、離型性・滑り性に対し
ても充分な効果が得られる高機能複合膜です。
また、つきまわり性が良いため寸法精度が要求される部品にも対応可能です。
特に離型性や非粘着性・滑り性を最重要視されている部品に最適です。




タフラム TUFRAM
※タフラムはアルバックテクノ(株)の登録商標です。

アルミニウムおよびアルミニウム合金の表面処理加工(表面改質加工)に最適な処理
アルミニウムおよびアルミニウム合金に対して硬質アルマイトをベースとし、その多孔質の
皮膜にフッ素樹脂を含浸させます。タフラムは耐磨耗性・滑り性・耐食性・耐海水性・
離型性・電気絶縁性等に優れ、非常に滑らかで硬い表面を持ち、母材と一体化した
高機能複合膜を得る表面処理(表面改質)技術です。タフラムは、均一でつきまわり性が良く、
寸法精度が要求される部品にも対応が可能です。このような優れた特長を持つタフラムは、
幅広い分野に応用され、多くの製品・部品に使用されています。

アルミを使用した部品や治具の耐磨耗性などを良くしたい場合に最適です。
 
PVD・CVDコーティング(耐熱用プライムコートーT)

 

豊富なコーティング被膜の選択により、各種金型・
治工具・切削工具などの寿命延長を行いトータルコストの
引き下げを実現します。本体加工からコーティングまでの
一貫加工により、迅速な対応が可能となります。


1,000℃近い温度でのCVDコーティングから
500℃程度で成膜可能なPVDコーティング、
250℃以下で材質を問わない低温PVDなど
様々な処理方式がございますのでどのような
内容でもお気軽にご相談ください。
  スライディングビーナス(DLCで対応できなかった部分への滑り性向上被膜)
  S-VENUS[スライディングヴィーナス](DLCで対応できなかった部分への滑り性向上被膜)
新製品のご案内 スライディングヴィーナス今までDLCで対応できなかった部分の滑り性向上を狙った被膜です。
用途
アルミダイカストピンの抜け性向上
アルミ成型金型のカジリ対策
様々な搬送ラインの滑り性向上
樹脂製品の搬送ラインの滑り性向上

耐熱性を要する環境下での滑り性向上
DLCで剥がれなどを起こしてしまう環境下での対策

※今まで滑り性向上の目的でDLCをご使用頂いてた上で剥離や耐熱性の問題で継続的なリピートがしずらかった環境下の部品へのDLCに代わる被膜としてご提案させて頂いております。

静摩擦係数
アルミ材
(A5052)
PP樹脂
S-VENUS 0.18 0.25
DLCコート 0.26 0.20
SUS304(鏡面) 0.55 0.40
スライディングヴィーナス

各種製品の滑り性向上に!

ヴィーナスコート 3つのポイント

Point1 特殊表面形状効果により、摩擦力低減
      
ガラス、非鉄金属、樹脂類などの固形物の滑り性向上。

Point2 
HV3000〜3500の膜硬度で耐摩耗性に優れた被膜特性
      従来の非粘着コートやDLC以上の耐久性。

Point3 耐酸化性に優れた被膜特性。

      酸化開始温度1100℃ DLCで使えなかった環境に対応

機能
S-VENUS
DLC
酸化開始温度
1,100℃
250℃
硬度 (Hv)
3,000〜3,500
2,500〜4,500
膜厚 (μm)
2〜4
0.5〜1.5
処理温度
400〜500℃
250℃
   ヴィーナスコート(アルミダイカスト、マグネシウム金型・銅合金熱間鍛造用金型)
 新製品ご案内 アルミダイカスト金型・冷間温間鍛造金型部品に適した被膜です。
 
ヴィーナスコート
 
超耐酸化、高硬度領域への飽くなき挑戦ヴィーナスコートは、
1,100℃以上の耐熱性とHV3,500の被膜硬度を有し、
金型の耐久性を飛躍的に向上させる画期的な被膜です。

ヴィーナスコート 3つのポイント
Point1 1,100℃以上の耐熱、耐酸化により
      高温域での膜寿命向上。

Point2 HV3,500以上の膜硬度により、耐磨耗性を大幅に向上。

Point3 耐熱酸化性、高硬度が求められる金型分野へ適応可能。

用途
高温時での摺動性、耐摩耗性を維持したい部品へ
アルミダイカスト用金型:ピンの溶損、焼付き、カジリ、耐摩耗
               キャビの溶損、耐摩耗
               その他高温による溶損、焼付きが気になる設備に
銅合金熱間鍛造用金型:耐摩耗性、溶損対策
                押出し金型の寿命大幅にアップ
※溶損や耐摩耗ではなくカジリ、焼付きを重視されるお客様は別の膜種をご提案させて頂きます。
 
 
ヴィーナス
コート
CrN
TiAIN
TiN
耐熱温度
(℃)
1100
700
700
500
硬度
(Hv)
3500
2200
2800
2500
膜厚
(μm)
2〜4
1〜10
1〜4
1〜4
色調
黒灰色
銀灰色
赤黒色
金色

高温域での潤滑性向上被膜による離型性や低摩擦
による効果を一度お試しください。

 
 
超硬金及び超硬合金ろう付品
高速度工具鋼 粉末ハイス ASP23,30,60
HAP10,20,40,50,70、72
DEX20,40,60,80
溶性ハイス

SKH51〜57

ダイス鋼
低音焼戻し品は硬度
低下及び寸法変化の恐れがあります。
冷間ダイス鋼 SKD11(高温戻し)
DC53,KD11V,SLD8,他相当品
熱間ダイス鋼 SKD61
その他 プレハードン鋼/マルエージング鋼
*コーティング処理温度(450℃〜500℃)以下の焼戻し
温度品又は規定を外れた熱処理履歴製品は、硬度低下
及び寸法変化の原因となりますので、十分ご注意ください。
 
 
 
ナックルジョイントプレス

[試験条件]

160t ナックルジョイントプレス
(神奈川県産業技術センター)

ポンチ材質:SKH51+各表面処理(各表面改質)

被加工材:SS400(ポンデ処理品)
 
 
ショットプレス後の傷の深さの比較

[プレス試験結果]

ヴィーナスコートは未処理に対して10倍以上、CrN処理に
対して3倍以上の耐磨耗性を示しました。これからの用途
開発により耐熱・耐酸化・高硬度が必要とされる道の分野
への応用が期待されます。
 
未処理品  
CrN  
ヴィーナスコート  
 
プレス試験評価

冷間鍛造を各100ショット行った後にポンチR部の
状態を観察、各表面処理品(各表面改質品)の使用後の表面状態
を観察しました。
   プライムコートT(高硬度・超耐熱酸化被膜)


  プライムコート−T高硬度・超耐熱酸化被膜 

これまでの常識をはるかに超える耐熱被膜です。
新組成被膜により、これまでにない「耐酸化性」と
「高硬度化」を実現しました。
高硬度鋼の高速加工・ドライ加工にずば抜けた性能を発揮します。

プライムコート−T 5つのポイント
Point1これまで不可能な領域だったHRC60以上の
     高速切削を実現。

Point2高硬度材を高能率に加工でき、機械加工コストの
     低減に貢献。

Point31100℃以上の耐熱酸化性によりドライ加工に
     抜群の威力を発揮。

Point4耐熱酸化性に優れ、従来の被膜に比べ高温域での
      切削性能を大幅に長寿命化。

Point5高い耐熱酸化性が求められる金型分野にも応用可能。


機能
プライムコートーT
TiAIN
TiN
耐熱温度 (℃)
1,100以上
700
500
硬度 (Hv)
3,500
2,800
2,500
膜厚 (μm)
2〜4
2〜4
2〜4
色調
赤茶色
赤黒色
金色

用途  適用材質
切削工具…HRC50〜HRC65位までの高硬度鋼ドライ加工。
インコネル、ハステロイ、ステライト等超合金、オーステナイト系
ステンレス加工

金型…アルミダイカスト、熱間鍛造等高い耐熱性が要求
     される金型・金型部品

 
  プライムコートC(超潤滑被膜)


 
プライムコート−C 

超潤滑被膜 これまでの常識をはるかに超える潤滑被膜です。

新組成被膜により、TiAlN並の耐熱性能を持ちながら、
高い潤滑性能をプラスすることに成功しました。
軟鋼加工における、材料の刃先溶着を防ぎ、滑らかで、
美しい切削加工性能を発揮します。

プライムコート−C 4つのポイント

Point1 耐熱性・耐磨耗性を損なわずに、潤滑性を
      大幅に向上。

Point2 HRC20〜50までの幅広い材料の切削加工に高い
      レベルで性能を発揮。

Point3 高い潤滑性により、切粉の排出を容易にし、
      刃先への凝着を低減。

Point4 高い耐熱性により、ドライ切削・金型分野への
      応用可能。
機能
プライムコートーC
TiAIN
TiN
摩擦係数
1,100以上
0.40
0.45
硬度 (Hv)
2,800
2,800
2,500
膜厚 (μm)
3〜5
2〜4
2〜4
色調
銀白色
赤黒色
金色

用途  適用材質
切削工具…HRC20〜50までのドライ加工。
インコネル、ハステロイ、ステライト等超合金、
オーステナイト系ステンレス加工

金型…アルミダイカスト、熱間鍛造等の潤滑性が
要求される金型・金型部品

アルミ、銅などの非鉄金属のプレス、打ち抜きetc・・・
ハイテン材等の過酷なプレスのカジリ対策

 
   マーキュリーコート(歯切り加工用)
マーキュリーコート 歯切り加工分野の切削条件に対して優れた被膜 

高硬度・耐酸化性・耐摩耗性に優れた新しい被膜です。
歯切り加工分野において取組みが進んでいるドライ加工化・高速化・
高送り化への切削条件に優れた性能を発揮できる被膜を
開発しました。

マーキュリーコート 3つのポイント
Point1 1,100℃以上の耐熱、耐酸化特性により
      高温域での膜寿命向上。

Point2 3,500HV以上の被膜硬度により
      耐摩耗性を大幅に向上。

Point3 超高速・ドライ加工領域でこれまでにない
      工具寿命を実現。

機能
マーキュリーコート
CrN
TiAIN
TiN
耐熱温度 (℃)
1,100以上
700
700
500
硬度 (Hv)
3,500
2,200
2,800
2,500
膜厚 (μm)
2〜4
1〜10
2〜4
2〜4
色調
青灰色
銀灰色
赤黒色
金色

 
 
   ACC・ACTコーティング(耐食対策)

 ACC&ACT 耐摩耗・耐食・耐酸化・耐焼付被膜

より厳しい耐食対策に優れた性能を発揮
PVD-イオンプレーティング法による、〈ACC・ACT〉は、
高い被膜特性や密着力に優れ、広範囲な温度域で、被処理材
に適した温度での処理を行います。
熱による処理材の変形、変質が極めて小さく、〈ACT〉は
耐摩耗性・耐酸化性、〈ACC〉は特に耐食性に優れている為、
さらに厳しい腐食環境下で、突出した性能を発揮します。

ACC&ACT 3つのポイント
Point1 より厳しい耐食条件に優れた被膜です。
      
Point2 〈ACC〉は点錆の発生を大幅に抑制します。
      
Point3 〈ACT〉は耐キャビテーション・エロージョン
      対策にも適しています。

用途
CrNご使用中のお客様は一度ご検討ください。
アルミ押出ダイス〈ACC〉・・・耐熱酸化、耐アブレーション摩耗
アルミダイカスト金型〈ACC〉・・・耐摩耗、ヒートチェック、カジリ防止
コレットチャック〈ACC〉・・・すべり防止、耐摩耗性
インジェクションモールド〈ACT〉・・・耐腐食性
超音波洗浄機〈ACT〉・・・耐キャビテーション・エロージョン性




【自動車部品加工・金型製作加工様向】


コーティング選定ガイドライン
TiC・・チタンカーバイトコーティング
Ti3・・トリプルチタンコーティング
TiN・・窒化チタン多層コーティング
CMTi・・複合多層チタンコーティング
TiALN・・窒化チタンアルミナコーティング
CrN・・窒化クロムコーティング

形状種類
2枚刃エンドミル
2枚刃ロングエンドミル
2枚刃ラジアスエンドミル
4枚刃エンドミル
4枚刃ロングエンドミル
4枚刃ラジアスエンドミル
6枚刃エンドミル
6枚刃ロングエンドミル
6枚刃ラジアスエンドミル
2枚刃・4枚刃ボールエンドミル
2枚刃ロングリーチポールエンドミル
ラフィング、エンドミル
ステンレス・インコネル加工用エンドミル
*再研磨+コーティングも承ります。気軽にお申し付け下さい。


各種被膜の用途
CVD
TiC
プレス深絞り用金型、冷間鍛造用金型
Ti3
アルミダイカスト用鋳抜きピン、プレス金型
PVD
TiN
プレス用金型冷間鍛造用金型、切削工具
CMTi
アルミダイカスト鋳抜きピン、切削工具
TiCN
高度の機械的応力を受ける切削工具
TiALN
銅の高速加工による熱応力を受ける工具。重荷エンドミル、ドリル、
旋作加工、ドライ加工
CrN
耐腐食性が要求されるプラスチック、アルミダイカスト金型、非鉄金属
の切削加工(アルミ、銅)やきつき防止、耐食性に優れる。
ACC
CrNをさらに耐食性を向上させた被膜
ACT
CrNlをさらに耐食性を向上させた被膜
ZrN
ACCよりさらに耐食性を向上させた被膜



各種被膜の特性
 
CVD
TiC
Ti3
CrC
硬度 (Hv)
3600
2300
1000〜1500
摩擦係数
0.2
0.4
膜厚 (μm)
4〜7
4〜8
5〜10
耐熱温度 (℃)
400
550
750
色調
シルバーグレー
ゴールド
シルバー
 
PVD
TiN
CMTi
TiCN1
TiCN2
TiALN
硬度 (Hv)
2500
2500
3000
3500
2800
摩擦係数
0.4
0.4
0.4
0.4
0.35
膜厚 (μm)
1〜4
3
1〜4
1〜4
1〜4
耐熱温度 (℃)
550
580
450
450
800
色調
ゴールド
ゴールド
ブラウン
グレー
バイオレットグレー
 
PVD
CrN
ACC
ACT
ZrN
硬度 (Hv)
1700
2200
2500
2200
摩擦係数
0.5
0.25
0.45
0.45
膜厚 (μm)
1〜10
1〜10
1〜4
1〜4
耐熱温度 (℃)
700
700
600
700
色調
シルバー
シルバー
ゴールド

白金色


コーティング可能な材料
CVD
可能材料
PVD
可能材料
TiC
SKD11
TiN
SKD11
Ti3
SKD61
CMTi
SKD61

TiCN

SKH類

TiALN
超硬合金
CrN
非鉄金属


材料の熱処理条件にご注意ください。
処理温度が焼く450℃ですので、焼き戻し温度を500℃以上
の条件で処理してください。(SKD11相当等)

防錆管理をお願いします。
製品に電圧を付加し皮膜を形成する原理上、製品表面に酸化物・
炭化物が存在しますと、皮膜が乗らない事があります。
 
 
クラニックス処理(耐熱コーティング)

構成比を独自配合した窒化クロム/アルミニウム合金
被膜中に第3元素Xを混合させ、イオンスパッタリング方式
にて成膜しました。
クラニックスは耐熱性と耐酸化性が非常に高く、
また酸化したとしても緩やかに進行します。
従来のTiAlN膜より著しく改善され、高温環境下での
使用に耐えうる新機能被膜です。
硬度も高く安定した性能を発揮します。



仕様
耐熱性:1,000℃以上
膜硬度:HV2,000〜2,200
摩擦係数:785℃大気加熱時μ=0.46 
常温時μ=0.85 荷重1N ボールSUS440C
膜厚:標準0.1μm  最大0.5μm
コーティング範囲:φ200×150Hmm
処理温度:300℃
適用材質:超硬合金・SKH・SKD・SUS310S


用途
熱処理炉内搬送治具(酸化防止目的)
ガラス成型用金型(離型性向上目的)
 
 
弊社イオンプレーティングの特徴

・サブスレートとの付着力が高い。
・緻密で経時変化の少ない膜が得られる。
・反応性イオンプレーティングが出来る。
・サブスレートの温度上昇が少なく、耐熱性の無いサブスレートでも使用できる。

今まで処理温度の問題や材料の問題で処理が出来なかった部品でも処理可能な場合が
多いです。気軽に御相談下さい。
シリコンウエハ、ゴム、プラスチック、ガラス、etc・・・

研究所及び開発者向薄膜処理
下記目的以外でも金属同士を同時に成膜したい場合は、気軽にご相談ください。
可能な条件であれば混合膜の成膜も検討いたします。

 

LELLYON-TF

非粘着コーティング “LELLYON- TF(レリオンTF)”のご案内
フッ素樹脂(テフロンコート)並みの離型性と撥水性を兼ね備えた非粘着コーティング “LELLYON TF” が誕生しました。
従来のフッ素樹脂加工では適用が難しかった製品への対応も可能となった全く新しいタイプの非粘着コーティングです。

特徴
超薄膜

ナノメートルレベルの膜厚です。フッ素樹脂コートの20〜30μmに比べ遥かに薄いコーティングとなっています
特にカット刃などの鋭利な刃物に適用した場合、切れ味が損なわれること無く付着を防止します


耐熱性
フッ素樹脂では使用不可能な高温(約350℃)まで利用可能です

高い密着性
画期的なコーティング技術により、従来の方法では得られなかった高い密着性を有しています

優れた耐磨耗性
セラミック膜と組み合わせることで優れた耐摩耗性を発揮します

低温処理
処理温度が常温から100℃以下のため、硬度低下や寸法変化の心配がありません

用途
樹脂の離型性向上、撥水性の向上、汚れ付着防止、粘着テープのカット刃等への付着防止

適応材料
金属(鉄、アルミ他)、セラミックス、ガラス、プラスチック、etc

TOSICAL-S(トシカルS)
驚異的非粘着性表面改質加工
粘着テープ・接着剤・ゴム製品の製造段階では基材に粘着、接着剤が付着するのを防止し作業効率を上げるため
オイルや水を利用して来ましたが、これが次工程の作業 に支障をきたし
製造効率の向上や不良品発生率の低減が困難とされてきました。
上記の「強粘着性素材」の非粘着効果を狙う「表面改質技術」は今まで国内はもとより世界にも例は有りませんでした。
トシカルSコーティング加工は粘着を嫌う面に凹凸を付け凹部に特殊樹脂を凹凸形状を残しながら埋め込むことによって
飛躍的な非粘着性表面を作る事により自動化、 不良低減に成功しました。

【トシカルSコーティングイメージ】

粘着剤に対して卓越した非粘着性、尚且つ導電性加工に付き静電気が発生しません。


実 績

粘着テープ生産ライン
シール・ワッペン印刷ライン
打ち抜き刃・カッティング刃
紙おむつ製造ライン
加硫前の生ゴムの非粘着
その他高粘着物の非粘着
粘着フィルム打抜き用のピナクル刃・トムソン刃に
ホットメルト成型金型への非粘着


推定応用改質分野
粘着剤塗布製品の自動カッティング及び貼付時の障害除去
その他粘着物の接触するライン及び製品の生産障害、性能障害の改善


※新バージョンシリーズ登場
トシカルS UNA-200
基材の処理前の寸法・形状を変化させずに粘着テープ・未加硫ゴム・接着剤などに対し
他に例を見ない優れた難付着性能を加工面表面に発揮させる表面改質加工です。
特に薄肉の基材に対しても反り・歪みが発生せずに基材に優しい加工です。


優れた特徴

@フッ素樹脂加工では解決出来なかった粘着テープ・未加硫ゴム・接着剤などが貼り付きません
A処理前の基材寸法精度を極力損なわずに加工する事が可能
Bステンレス・鋼・セラミックス・ガラスなどの基材に加工可能 ※他の基材へは事前にお問い合せ下さい。

UNA-200の性能

耐熱性

-25+200

テープ剥離荷重

1〜2g

寸法変化量

0.02mm未満

鉛筆引掻き値

   H

※測定使用テープ・・・JIS Z1522による15mm巾セロハン粘着テープ

トシカルS UNA-800シリーズ
もっともポピュラーなタイプです。
被膜構造は2層に大別され、1層目は特殊金を凹凸形状にコートして有り、
2層目に高分子共重合体からなる特殊樹脂を凹凸形状が残るようにコートしてあります。


搬送ロール 
PE製粘着フィルム(シート)を使用した包装機に利用されている。
薄い粘着フィルムもキズを付けず確実に搬送させ付着障害も起きない。

※UNA-800GYより滑り性を持たせてあるUNA-880GYもございます。お気軽にご相談ください。

トシカルS UNA-300シリーズ
UNA-800シリーズで得られる凹凸構造が逆に災いとなるケースを対象に開発された技術です。
直接、対象基材に凹凸形状を構成させ非粘着性共重合体樹脂をコートしたタイプです。
この凹凸度合いは表面粗さ値にて管理され、平滑にも凹凸にもコントロール可能です。

@ フッ素樹脂加工では解決できなかった粘着テープ・未加硫ゴム・接着剤などが貼り付きません。
A 処理前の基材寸法精度を極力損なわずに加工することが可能。
  ※寸法変化量については事前に許容寸法変化量をお聞かせ下さい。
B ステンレス・鋼・セラミックス・ガラスなどの基材に加工可能
  ※他の基材へは事前にお問い合わせ下さい

粘着フィルム打抜き用ピナクル刃・トムソン刃
PETフィルムを打抜く際に刃先に付着して切断不良を起こしてましたがコーティング後は付着障害が
無くなり生産性と品質向上・歩留まりの向上に大きく貢献しました。


トシカルS UNA-100シリーズ
ゴム表面に強固に密着し伸びに追従できる優れた今までにない「潤滑性・撥水性・非粘着性」
を発揮させる画期的な表面改質技術です。
ゴム基材を対象に開発され、ゴム表面にフッ素樹脂(テフロン)なみの低摩擦性と
シリコーンゴム以上の離型性を付与します。
シリコーンゴム基材にも密着し、シリコーンゴムより優れた離型性と低摩擦性(滑り性)を
発揮します。


@ ゴム表面が優れた低摩耗性を発揮(フッ素樹脂と同程度の低摩耗性を実現)
A ゴム表面が優れた非粘着性を発揮(フッ素樹脂では得られない非粘着性を実現)
B ゴムの伸びに優れた追従性を発揮
C シリコーンゴムにも優れた密着性を発揮
D 優れた撥水性も発揮
E 食品衛生法「厚生省告示第370号」適合


ハンドラベラー用ゴムローラー
商品ラベルなどを貼り付ける装置のローラー。ラベルの糊面が付いても確実に離型し、搬送される。

トシカルS TS−2000コーティング
粘着テープや接着剤などの粘着物に対して卓越した非付着性を発揮します。
セロハンテープ・布粘着テープ・ラベルシール・シリコーン粘着テープなどが全く貼り付きません。

@粘着剤に対し卓越した非粘着性を発揮します。
A導電性加工に付き、静電気障害を起こしません。
Bシリコーン系粘着テープも貼り付きません。


注・・・上記値は測定値であり、出荷規格・性能保証値ではありません。

トシカルコーティングシリーズは上記の他にも各種ございます。
詳細は問い合わせフォームやお電話などよりお問い合わせください。

 
撥水、離型性有機薄膜処理技術「NANOS(ナノス)」


有機ナノ薄膜処理技術 NANOS

当社独自の有機ナノ薄膜処理技術「NANOS(ナノス)」は、金属・ガラス・樹脂など、
あらゆる素材の表面にナノスケールのごくごく薄い機能膜を形成することにより表面の形質を改質し、
撥水・撥油・離型・防汚などの機能を付与することができる技術です。


特徴

・撥水、撥油、離型、防汚などの機能を有する(水での接触角は110〜120°)
・金属・ガラス・樹脂など、あらゆる素材への成膜が可能(樹脂の場合は、必要に応じ密着層を挿入)
・膜厚が数ナノ〜数百ナノメートルとごくごく薄く、処理温度も低いことから、
 基材への寸法変化やダメージなど、ほとんど影響がない
・「NANOS(ナノス)」プロセス専用処理装置「卓上型NANOSCEPTER(ナノセプター)」の販売を開始
※原料も当社にて販売、薄膜仕様は「ナノスB」(膜厚:10nm、20nm)
・新規開発材料による「ナノスY」では、耐熱性および撥水性が向上
・従来品(「ナノスB」仕様)の耐久性向上を目的とした新技術「ナノスBS」も開発中


NANOSプロセスの特徴

薄膜原料を真空中で加熱・蒸発させ、基材表面で凝固・固化させることにより薄膜を形成する
 ※基材と化学的に反応し、結合された状態


NANOSプロセス(真空蒸着法)
・低温プロセス:50℃以下
・段差被覆性が良好:アスペクト比 5 ※ナノスBの場合
・密着性が良好:化学結合
・基材の自由度: 大



NANOSの技術




[NANOS(ナノス)製品案内]


 『NANOS(ナノス)』ラインナップ

 対樹脂専用グレード ナノスRB



 

Nano Hardness Tester・・・硬さ・ヤング率
変位分解能:0.03nm  荷重分解能:1μm
熱ドリフトの影響を抑えるサファイヤリングシステム
顕微鏡・AFMでの表面観察

Scratch Tester・・・密着力
10nm〜20μmの薄膜の密着力測定
顕微鏡でのスクラッチ痕観察
フィードバック機構により曲面での測定可能

Tribometer・・・摩擦摩耗
荷重:50μN〜1N(NTR) 1N〜20N(TRB、HTT)
回転及び往復摩擦(NTRのみ)が可能
ボールと基材の応力解析シミュレーション機能搭載

Calotest・AFM・NST・・・膜厚・表面形状
多層膜の膜厚測定
解析ソフトによる多彩な分析が可能
Nano Scratch Tester(NST)による形状及び摩耗量測定

適用用途例
各種硬質薄膜、半導体プロセス薄膜、保護膜、熱処理層
光学薄膜、ポリマー薄膜、液晶・電子部品保護膜等

 
 
 



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